采用伺服精密行星減速機時，經常出現各種設備故障。根據統計，大功率行星減速機80%的故障問題都是由于齒輪所造成的，也就是說，齒輪損壞是行星減速機。所以，根本原因在于，在日常管理和運行中，必須注重對大功率齒輪減速機的維修與保養。
 

齒輪失效形式多種多樣，裂縫進一步發展擴展。其失效形式有多種途徑和形式。在這些故障中，較多的裂紋故障是比較嚴重的，其故障模式可引起齒輪疲勞甚至全部失效。所以，精密行星減速機對裂縫的破壞機理進行分析，并找出有效的裂縫故障診斷方法十分重要。
 

常規診斷方法是振動頻譜分析。這一方法基于傳統振動理論。通過診斷儀采集振動數據和波形，進行分析診斷，確定精密行星減速機故障原因及位置。但是，必須建立足夠精確的故障模型，以準確地識別故障狀態下的振動信號。對診斷人員在故障診斷方面有豐富的經驗。